Multitasking im Reinraum
Thomas Brocke als Prozess- und Anlageningenieur bei Bosch, Teil 1
Alumnus Thomas Brocke (28) studierte Physik in Hamburg und begann danach am Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung der Universität Hamburg seine Promotion. Daneben stieg er bei Bosch in Reutlingen als Anlagen- und Prozessingenieur in der Fertigung ein.
Seit September 2006 arbeite ich als Prozess- und Anlageningenieur bei der Robert Bosch GmbH in Reutlingen. In einem Team von zwei Ingenieuren und drei Technikern betreuen wir zurzeit neun Ionen-Implantationsanlagen und die dazugehörigen Prozesse. Zusätzlich ist dauerhaft ein Service-Techniker der Anlagenfirma hier vor Ort. Viele verbinden mit dem Namen Bosch Kühlschränke und Bohrmaschinen, wir aber stellen Automobilelektronik her. Die Ionenimplantation ist dabei einer der vielen komplexen Prozesse, die zu diesem Zweck in unserem staubfreien Reinraum stattfinden. Die Werkstatt, die hier unsere Anlagen bedient, besteht aus etwa 50 Mitarbeitern in sechs Schichtgruppen.
Montag, 5.2.2007
Der Morgen beginnt damit, dass ich vom Büro aus den Status unserer Anlagen überprüfe: Es sind keine neuen Probleme dazugekommen. Aber ein paar Probleme vom Freitag existieren leider immer noch. Nach ein paar Abstimmungen mit meinem Fachgruppenleiter, dem zweiten Ingenieur im Team, gehe ich erstmal in den Reinraum, um zu schauen, was mich dort an Arbeit erwartet. Im Reinraum gilt doppelte Anzugspflicht: Jogginganzug darunter, Reinraumanzug darüber. Den Jogginganzug trage ich den ganzen Tag, damit ich jederzeit in den Reinraum kann, ohne mich noch einmal umzuziehen. Nachdem ich die Frühschicht an unseren Anlagen begrüßt habe, fange ich an, mich um die Chargen im sogenannten "Problemregal" zu kümmern. Heute erwarten mich hier unter anderem einige Sonderfahrten für Prozessänderungen und Versuche für die Entwicklung. Damit habe ich erstmal Einiges zu tun, unterbrochen vom Mittagessen und unserer gruppeninternen Info-Runde. Unser Gruppenleiter bringt uns Neuigkeiten von den höheren Ebenen und diskutiert gruppeninterne Angelegenheiten mit uns. Nachdem ich im Reinraum alle Chargen bearbeitet und einige Tests durchgeführt habe, schreibe ich im Büro noch an einer neuen Arbeitsplatzvorschrift und mache mich zu fortgeschrittener Stunde auf den Heimweg.
Dienstag, 6.2.2007
Mein morgendlicher Status-Check bringt eine schlechte Nachricht an den Tag: Eine Anlage kann gerade nur sehr eingeschränkt produzieren und es ist noch nicht abzusehen, wann sich das ändert. Auch wenn ich an der Anlage nicht viel ausrichten kann, begebe mich erstmal wieder in den Reinraum. Neben lauter Kleinigkeiten habe ich heute ein paar längere Messungen vor - Organisation und Multitasking ist gefragt. Zwischendurch bin ich noch in der Prozessänderungssitzung. Ein Implant-Schritt soll beschleunigt werden, nun soll ich zusammen mit dem entsprechenden Entwicklungsingenieur unseren Prozessüberwachern Rede und Antwort stehen. Schließlich sollen die Produkte nach der Änderung mindestens die gleiche Qualität und Funktionalität haben wie vorher. Zusammen mit der Spätschicht finde ich am späten Nachmittag schließlich herraus, dass unsere Problemanlage wohl nur einen Fehlalarm ausgegeben hat und nach ein paar Tests und Freigabe-Checks kann die Anlage wieder ganz normal produzieren. Manche Probleme lösen sich eben von alleine.
Mittwoch, 7.2.2007
Unsere gestrige Problemanlage produziert fleißig und ohne Probleme. Auch sonst ist heute an den Anlagen alles recht ruhig. Das bedeutet, dass ich mich heute wieder mehr meiner Aufgabenliste widmen kann, die derzeit etwa 30 Einträge umfasst und dafür sorgt, dass mir nie langweilig wird. Nach dem Mittagessen treffen wir uns heute mit Mitarbeitern aus allen sechs Schichtgruppen. Das tun wir alle zwei Monate, um einerseits Neuerungen und Informationen an alle Schichten zu vermitteln und andererseits den Dialog mit und zwischen den Schichten zu ermöglichen. Wie wichtig und schwierig das ist, wird mir bei der Arbeit immer wieder bewusst. Mitarbeiter unterschiedlicher Schichten sehen sich im Normalfall höchstens eine halbe Stunde pro Tag. Und wenn wir mit einem bestimmten Mitarbeiter persönlich reden wollen, vergehen schon mal zwei Wochen, bis wir ihn erwischen. Später vergleiche ich noch die Angebote zweier Hersteller für ein Messgerät, mit dem wir unsere Anlagen überwachen. Eines von beiden soll bald als Ersatz für unser jetziges Gerät angeschafft werden und ich habe die Aufgabe herauszufinden, welches besser geeignet ist.
Donnerstag, 8.2.2007
Bereits gestern haben wir in der Fachleiterrunde einige Änderungen bei der Freigabe unserer Anlagen nach Eingriffen angekündigt. Die setze ich heute in die Tat um. Im Laufe der letzten Wochen habe ich eine Menge Arbeitsplatzvorschriften und Anweisungen durchsucht und wo nötig abgeändert. Jetzt kommen die Dokumente in den Reinraum und die nötigen Prozesse werden "scharf" gemacht. Mit der anwesenden Frühschicht spreche ich noch einige kleinere Probleme durch, die in der letzten Zeit angefallen sind, bevor ich unsere Anlagen für heute vollständig der Werkstatt überlasse. Zurück im Büro bringe ich nun auch in allen elektronischen Dokumenten die bereits vorgenommenen Änderungen auf den Weg und schreibe noch eine Nachricht in unser Implantations-Forum, die alle lesen können, die mit unseren Anlagen arbeiten. Da heute alles ruhig bleibt, bringe ich am Nachmittag noch ein paar kleinere Aufgaben voran und beschließe, heute keine Überstunden zu sammeln.
Freitag, 9.2.2007
An den Anlagen ist alles ruhig, darum habe ich heute wieder Zeit, ein neues Projekt anzufangen. Ich soll einen Test entwickeln, mit dem wir die korrekte Positionierung der Siliziumscheiben, den sogenannten Wafern, auf einigen Anlagen überprüfen können. Ein paar einfache Tests dazu delegiere ich an die Werkstatt und bitte einen Kollegen von der Lithographie um ein paar Wafer mit besonderer Belackung. Vorausgesetzt, dass keine Notrufe aus der Werkstatt kommen, sammele ich heute Nachmittag noch ein paar Daten und Fragen zu den Messgerät-Angeboten und setze mich vielleicht noch mit ein paar Verständnisfragen zu unseren Anlagen und Prozessen auseinander. Schließlich bin ich nach einem knappen halben Jahr immer noch in der Lernphase und habe noch längst nicht jedes Einzelteil unserer Anlagen und jedes Prozessdetail verstanden.
- Fortsetzung folgt -
